硅鋁靶廣泛用于低輻射玻璃和AR涂層。
| 元素符號(hào) | : | SiAl |
| 合金成分 | : | 98/2; 90/10; 25/75 wt% 其它成分可定制 |
| 純度 | : | 3N+ |
| 形狀 | : | 平面靶 |
| 外觀 | : | 銀白色 |
| 典型密度 | : | 隨合金成分而定 |
| 常規(guī)尺寸 | : | 平面靶: D500mm 旋轉(zhuǎn)靶: L4000mm 其它尺寸可定制 |
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